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中圖儀器0.005nm粗糙度RMS重復性白光干涉儀形貌重復性達0.1nm，臺階測量準確度僅0.3%，符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國內(nèi)外標準。基于白光干涉技術(shù)與復合型EPSI重建算法，連續(xù)10次測量Sa=0.2nm硅晶片，數(shù)據(jù)偏差＜0.001nm，為工藝優(yōu)化、產(chǎn)品質(zhì)檢提供可信的量化依據(jù)。

SuperViewW工業(yè)表面3D檢測白光干涉儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperView W1系列納米級白光干涉三維形貌儀以0.1nm級分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標準參數(shù)，一站式解決超精密測量精度不足、多材質(zhì)適配難、批量檢測效率低等測量難題。應用覆蓋半導體、3C電子等多行業(yè)場景，數(shù)據(jù)驅(qū)動檢測，賦能精密制造升級。

中圖儀器SuperView W系列0.1nm形貌重復性白光干涉儀一鍵完成單/多區(qū)域自動測量、批量分析，編程測量功能可預設流程實現(xiàn)一鍵操作，單個精細器件測量用時短，大幅提升檢測 throughput。

SuperViewW工業(yè)表面3D白光干涉檢測儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW白光干涉3D表面輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。